为什么使用铟将国际靶材结合到背板上_必赢国际 为什么使用铟将国际靶材结合到背板上_必赢国际

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为什么使用铟将国际靶材结合到背板上-广东网址真空必赢设备

最近,一位客户问为什么铟通常用于将国际靶材粘合到背板上,因为铟在如此低的温度下会熔化,并可能导致靶材在高功率密度下脱粘。

由于铟具有独特的冶金性能,因此是用于把国际靶材粘结到背板上的首选“焊料”。铟具有四方晶体结构,并且可以在平面上孪生或滑动。这意味着铟可以横向移动而不会在“ Z”方向或水平方向上脱离。这种独特的物理特性的优势在于,如果将两种不同的材料用铟“焊料”固定或连接在一起,则它们在加热和冷却时会以不同的速率膨胀和收缩(基于各个膨胀系数)对于相应的材料),而不会在材料上造成高应力或应变。如此高的应力能量会导致材料脱粘,破裂甚至破损。铟还具有高导电性 因此非常适合从阴极组件到国际靶的电的传输和导热以利于冷却。铟的蒸气压也很低,因此在真空环境下不会出气。这里的问题是铟确实会在156摄氏度时熔化,从而无法在高温下使用。但是,由于大多数磁性增强型阴极组件在磁阵列中使用某种类型的稀土金属,因此阴极本身绝不能超过100摄氏度左右。(这种稀土磁体的居里温度略高于该温度。在居里温度以上,磁体会失去其磁性,从而使其无法在阴极组件中进一步使用)

然而,铟不是唯一可用于将两种不同材料粘合在一起的材料。在将适当的膜层国际到待粘合材料的背面后,达到促进粘合及扩散阻挡和润湿的要求,就可以使用其他材料将两种材料粘合在一起。尽管它不会在平面上打滑,锡是可以使用的。锡在232摄氏度下熔化。对于300摄氏度以上的粘合,我建议使用327摄氏度熔点的铅。

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