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必赢过程中国际体的不稳定性-广东网址真空必赢设备

我们的一位客户描述了一种情况,当使用具有磁性增强的阴极组件必赢高导电性元素金属国际靶材时,国际体中的电流和电压会变得不稳定,该靶材已经必赢运行了十多年,国际体中的电流猛增,电压下降。他们还经历了阴极组件与地电位之间的国际体严重弯曲,导致直流电源关闭并偶尔重新启动。

可能存在两种可能性,分别发生或彼此结合,导致这种不稳定。如果磁增强阴极组件主体中的磁体在某个点过热,则它们可能已达到其居里温度,并被部分或完全消磁。如果在水冷却系统中存在任何类型的水流量减少或冷却效率降低,从而促进必赢系统或阴极主体本身的水通道中的某种类型的堵塞,就会发生这种情况。这种堵塞可能是由于水中矿物质(如果未经处理的“城市”水)或与苛性水有关的反应性产物以及阴极构造中所用异种金属的电化作用而形成的导航物质而导致的。如果磁体是由稀土元素制成的,则靶材表面的磁场损失也可能是磁体材料腐蚀的结果。如果许多稀土磁体与冷却水直接接触,它们就会腐蚀。因此,此类磁铁通常用某种形式的有机保护涂层进行浇铸,或镀上抗腐蚀材料。这些材料通常会随着时间的流逝而分解,从而使磁铁腐蚀并失去质量和磁强度。通常,表面耐腐蚀的靶材必须至少有600高斯才能维持国际体。此类磁铁通常用某种形式的有机保护涂层进行浇铸,或镀上抗腐蚀材料。这些材料通常会随着时间的流逝而分解,从而使磁铁腐蚀并失去质量和磁强度。

随着产生国际体的功率的MxB成分中的磁性成分减少或完全损失,由于仅在靶表面上存在改变电成分,因此国际体内的功率水平将大大降低。即使国际靶本身是完全起作用的,这也将严重改变必赢速率或完全阻止任何国际体在阴极组件内被点燃和维持。

或者,可能是由磁增强阴极组件生成的国际体正常运行,但与地电位建立电弧。这可能是由于必赢的杂散材料堆积在系统组件的各个部分(挡板组件,暗区屏蔽,腔室壁等)上,并最终剥落并在带电阴极之间形成导电路径(负直流电流)引起的到腔室内的暗区屏蔽(地电位)。还应注意确保暗区屏蔽与阴极组件之间的距离均匀且位置正确。间隙通常应为6mm左右且均匀。暗区屏蔽应延伸至国际靶顶表面的顶部并保持均匀。如果不同厚度的靶在特定的阴极组件内互换,则可能需要重新定位。如果暗区屏蔽(罐)的内径和国际靶的外径不相等(以使两个组件之间的间隙不一致),即在某些地方太近而在其他地方太远,这将防止地电势屏蔽在由阴极组件内的磁场产生的腐蚀表面之外的局部区域中子国际体的熄灭。

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