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国际靶的金属粘合-广东网址真空必赢设备

我们经常被问到:“这个靶需要背板吗?” 不幸的是,有时甚至在应该时我们也没有被问到。因此,即使答案不是那么直接,我们还是在这里解决这个问题。出于多种原因,某些国际靶材确实需要将金属粘合到背板上,而某些国际靶材则不需要。

具有低弹性模量(杨氏模量)的高导电性,易延展性和可延展金属,例如金,铝,银,铜,铁等,通常不需要粘合到背板上,除非粘合对于将靶材安装到特定阴极组件中有关的机械夹具要求而言,会变得必需。但是,粘合易碎的金属,例如铬,锑,铋,铱,钴等是需要的。

此外,大多数无机,非金属陶瓷;以及大多数氧化物,氮化物,碳化物,玻璃等;使用前都应将其粘结到金属背板上。

某些金属需要粘合到背板上的原因也有所不同。在某些情况下,例如脆性材料(源自金属或陶瓷)会包含固有的内部应力。这些应力可能是制造过程中无法进行退火的机械加工的结果,或者仅仅是单个靶组成物的材料特性所固有的。在任何一种情况下,重要的是,对于任何给定的材料组成,这样的内部应力都不能达到将原子/分子保持或结合在一起的机械强度以上的水平。

除了出现在靶材中固有的任何内部应力外,在必赢过程中还会向材料添加其他应力。在国际过程中,国际体中的带电粒子(网址)用足够的能量轰击靶表面,以破坏将材料固定在一起的原子键。这种放热动量传递会导致靶表面的温度显著升高。在原子水平上,该温度升高可能超过1,000,000摄氏度。在处理过程中必须以某种方式散发这种热量。为了促进这一点,大多数阴极组件采用某种形式的水冷方式来消散这种不需要的热能。在大多数情况下,这是通过内置在阴极组件本身中的铜冷却通道(通常是阴极腔固定靶材的位置)来实现的。根据定义,

对于高导电性延展性材料,这通常不是问题。对于导电性较差的脆性材料,从顶部(热)到底部(冷)在靶的厚度方向上会形成热梯度。该热梯度在靶材料内引起额外的应力。如上所述,加上靶内可能已经存在的任何残余应力,靶可能在国际体必赢过程中破裂或爆开。通过将这样的金属靶粘合到高导电延展性背板上,例如直接安装在阴极组件水冷腔中的电子级无氧(OFE)铜,可以更容易地散发热量。

粘接过程中要小心,只能使用导电性高(电和热),蒸汽压低且机械强度高的材料。通过提高国际靶材/阴极组件的整体冷却效率,可以大大降低内部应力,并且在正常工作条件下,可以避免靶材破裂或爆开的风险。

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