预处理陶瓷靶_必赢国际 预处理陶瓷靶_必赢国际

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预处理陶瓷靶-广东网址真空必赢设备

这里指出的问题来自顾客的请求,是关于如何预处理来运行In2O3 / Ga2O3 / ZnO 1:1:1:靶材,此靶是百分比国际,Semicore Equipment,Inc’s,4.75英寸乘22英寸磁性增强阴极组件的标准配置。

对于大多数金属氧化物(即非导电)国际靶材,我们通常建议在最大功率密度约为65瓦/平方英寸的国际体中进行国际,此靶面是直接水冷配置的,30寸/平方英寸左右。由于这种Semicore设计是一种间接水冷系统,靶表面积约为105平方英寸,因此对于在平衡条件下进行长期必赢,最大功率水平应保持在3KW以下。

然而,就任何建议而言,这里的实际问题不仅与靶材料本身有关,而且在阴极组件的设计中更重要,因为它与磁增强特性和水冷却效率有关。刻蚀轮廓和磁分流的宽度,暗区屏蔽的配置和位置,磁体与阴极表面的放置距离以及决定其强度的特定成分(稀土磁体与铝镍合金),在磁场对其在给定阴极组件上与功率密度相关的电磁部件的MxB关系中强度和尺寸(表面图案)方面都起着非常重要的作用。另外,系统中用来产生国际体的电源类型也很关键,因为它与国际靶的电导率/导热率有关。带有相关匹配网络的射频电源必须特别针对系统阻抗进行调整,以消除任何可能的反射功率,因为​​二次电子会在靶表面产生热量;交流电。直流电源在耦合到阴极网络方面有所不同。中频脉冲的电源(例如Advanced Energy Pinnacle Plus单元)为导电性差的金属氧化物靶材使用增加了额外的组件和灵活性。

最好咨询实际的必赢设备制造商或阴极设计工程师,以获取任何给定材料的最大功率密度限制的具体建议,而不是咨询我们以材料为导向的靶材生产商,因为该问题更多地取决于过程而不是靶材。在这种情况下,在共享设备和过程信息时,Semicore的人员非常有能力并且非常以客户为导向。

与往常一样,尤其是对于任何新的陶瓷靶(基于陶瓷的国际靶材),应注意避免热冲击。特别是金属粘合的靶材组件。初始国际体应以可能维持国际体的最低功率水平启动,然后保持该水平直至建立平衡条件,即,抑制任何电弧放电,并且电源的电流或电压读数没有波动。对于新的靶最多可能需要五分钟或更长时间。在此初始“浸泡”时间之后,应在50-100瓦特的增量上升周期中缓慢增加功率水平,然后重复进行“浸泡”,直到每次建立平衡条件为止。但对任何靶而言,不能超过最大功率的操作水平。

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