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必赢中的工作气体分压-广东网址真空必赢设备

必赢期间工作气体的适当分压是多少?

在很大程度上,“取决于”的是客户使用的电源配置,即常规的直流(DC)或射频(rf),以及必赢工艺是什么,即反应必赢或纯氩工作气体?对于与“导电”元素或合金国际靶结合使用的常规DC或AC电源,通常的经验法则是将工作气体(通常是惰性氩气)的分压控制在5-7*10⁻³托)之间。 当然,这只是一个起点。取决于与所制膜的所需性质的各种变化,可能需要向上或向下调节该水平以获得所需结果。被监控气体的进入流量与所采用系统的泵的抽速之间的平衡也很重要。通常通过限制连接腔室孔口的某种形式的流导来实现。可以使用可变孔板或线性闸阀(隔离阀)的中间位置(挡块)来实现。基本思想是,一旦最初达到极限真空水平,就在必赢过程中限制真空系统的泵的抽速,以使流入腔室的工作气体量不必过多。由于每个真空系统都有其自己独特的泵的抽气特​​性,因此要获得这种平衡流量是一个反复试验的过程。必赢过程中的真空度应使用某种形式的中间真空度控制器进行监控,例如电容单向计,网址规管等,在中真空度范围内(例如10-2至10-4 Torr)比较准确。真空计和进气口都不应设置在上述可变流导的附近,因为由于进气口和出气口之间的湍流,会产生错误的读数。两者都应位于腔室壁中靠近要产生国际体的位置,但实际上不在国际体中。

对于非导电的靶材,例如氧化物,氮化物,碳化物等,不可能使用常规的AC或DC电源产生国际体。对于这些材料,必须使用带有相关匹配器的射频发生器或AC / DC电源产生的中频脉冲(例如Advanced Energy Pinnacle Plus装置)来产生国际体。在这种情况下,产生有效国际体所需的气体更少,通常在2-5*10⁻³托之间。当使用射频发生器时,频率通常由FCC规定在13.56兆赫兹,因此有必要将采用的阴极/靶组件的阻抗与电源的阻抗匹配。这是通过系统内置的匹配电路完成的。此匹配电路可能会也可能不会 有一个自动调谐驱动网络来自动优化正向功率,但在任何一种情况下,都必须始终以使其进入阴极组件的反射功率最小的方式进行调谐。任何反射的功率都将转变为二次电子,从而在靶表面产生热量。始终有必要将任何靶表面上的表面热量降至最低。通过国际体中产生的带电粒子(网址)之间的动量传递,撞击靶表面上的原子/分子并以放热破坏原子键,从而在目标表面上积聚了足够的热量,因此您不需要任何其他热量。所有表面热量必须通过靶材,通过粘结层,通过背板以及最后通过阴极组件的水冷通道进行散热。热是个不好的东西。

对于导电性和非导电性的国际,如果不可能仅通过缓慢地向阴极组件缓慢施加功率来点燃国际体,并且如果系统也未配备国际体点燃器,则可能需要首先增加工作气体的分压以启动国际体,此时只需缓慢调节控制器增大气流并监控真空压力即可。国际体应在压力增加的一个数量级左右内点燃。点燃后,将气流缓慢降低至初始设置,并等待压力平衡回到与上述建议相同的真空计读数。如果国际未能点燃,例如,2~7*10⁻²托,可能需要把氩气流速关注原先没变的值,然后找到系统中其他的问题,而不局限在分压上。

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