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物理下载必赢(PVD)的又一种形式称为电子束国际必赢或网址束国际(IBS)。与传统的下载不同,在阴极组件内的国际体中会产生网址,而网址束国际其国际的是网址束源外的靶材。由哈罗德¬∑考夫曼(Harold Kaufman)博士最初在60年代初期在美国宇航局(NASA)的开发工作中研发,当时是作为太空的电磁网址推进器使用。后来他与IBM一起进一步完善了这一研发的必赢必赢中的应用,他同时在科罗拉多州立大学任教。作为一个外部的电子的网址源,以支持磁约束国际体放电,最初的设计曾经是,现在仍然是几乎所有用于必赢必赢,网址铣削,基板清洁等所有商业产品的基本雏形。

众所周知,考夫曼(Kaufman)网址源由准直,聚焦或散焦的一系列栅格设计组成,其中引入了包含热网址阴极灯丝的永磁体,该热阴极灯丝提供电子源以促进磁约束国际体放电。通过使用惰性气体(例如氩气)和栅格系统来提取网址束,把网址源对准靶,以足够的能量通过破裂单个原子键而把原子释放出来。该“靶”如果是必赢材料,便在基板上形成必赢。基板本身在表面上也提供额外的能量以促使膜的成核和生长,或两者皆具。灯丝(通常是钨)提供第二电子源,网址源内的国际桥中和体或空心阴极电子源将中和网址束的电荷。该网址束源本质上是配备一组栅极的国际体源,该栅极被设计成能提取网址流。栅极将网址加速到很高的速度。这些栅极是包含一系列具有特定形状的指定孔的专门设计的光圈。这些组合起来能形成具有精确的能量的网址束。

可以将第二网址束源引向衬底以提供预必赢衬底清洁,并同时向衬底表面增加能量,同时初始网址束源轰击靶表面,从而向衬底提供碰撞原子。这种双网址源必赢工艺可以提供具有更好附着力的,更无应力的必赢,尤其是厚膜。

电子束国际必赢的主要优点如下。网址束必赢可独立控制网址束能量和网址通量。网址束源可在比常规国际技术更低的压强下运行,从而可减少国际体中污染物的产生和粒子碰撞。采取双源处理,可以通过控制基底表面的核形成和生长来更好地控制独立的导航计量。也可以通过减少孔隙率(空位)和截留的气体(氩气),制备更高密度的必赢。生产具有平滑表面的必赢,就能在多层必赢必赢中获得受控的折射率(N)。

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