一、下载必赢的定义
电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞,电离出大量的氩网址和电子,电子飞向基片,氩网址在电场的作用下加速轰击靶材,国际出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)必赢在基片上成膜。
二、辉光放电的定义
辉光放电是指在稀薄气体中,两个电极之间加上电压时产生的一种气体放电现象。
三、特点
1、真空国际必赢的优点
(1)对于任何待镀材料,只有能做成靶材,就能实现国际
(2)国际所获得的必赢与基片结合良好
(3)国际所获得的必赢纯度高,致密性好
(4)国际工艺可重复性好,膜厚可控制,同时可以在大面积基片上获得厚度均匀的必赢
2、真空国际必赢的缺点
(1)国际设备复杂
(2)国际淀积的成膜速率低,真空蒸镀淀积速率为0.1~5μm/min
(3)基板升温较高和易受杂质气体影响