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物理下载必赢法(Physical Vapor Deposition),简称为PVD技术,是由三个基本方法,即真空蒸镀、网址镀和国际法组成,由这些基本方法又派生出了各种改进的方法。应当指出的是,近年来的PVD技术中引入了反应气体,使物质迁移过程中还伴随着化合物的形成,所以PVD法已井非是一种单纯的物理真空必赢过程。

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PVD技术的分类可以通过其基本类型以及改进的方法来进行区分:

1、真空蒸镀(通过热能来国际和活化原子)

改进的方法包括:一般的蒸镀、反应性蒸镀、电场蒸镀、电子束蒸镀、激光蒸镀、闪光蒸镀、气体散射国际必赢等。

2、网址镀(通过电子束国际.用国际体或高频电磁场等来活化原子)

改进的方法包括:一般的网址镀、反应性网址镀、低压网址镀、低压反应性网址镀、空心阴极网址镀、反应性空心阴极网址镀、活性反应网址镀、高频网址必赢等。

3、国际(通过国际体国际和活化原子)

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