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必赢设备的氦质谱检漏仪如何确定灵敏度-广东网址真空必赢设备

真空必赢设备中用于残余气体分析的质谱计都可用H₂、He、Ar等作为示漏物质进行检漏,但这些检漏仪的检漏灵敏度各不相同。自20世纪40年代开始,于检漏之中应用质谱计之后,便进一步推进了检漏技术的发展。而对一台氦质谱检漏仪进行评价,则需全面了解其主要性能指标,灵敏度作为氦质谱检漏仪的主要参数,由于氦质谱检漏仪灵敏度在世界各国的定义都不一致,在我国,基本上都是用最小可检漏率来表示氦质谱检漏仪的灵敏度的。

氦质谱检漏仪的最小可检漏率(灵敏度),指的是在检漏装置在处于一个最佳的工作条件下(示漏气体采用的是一个大气压的纯氦),做“动态检漏”时能检出的最小漏孔的漏率。

1、最佳工作条件。

指被检必赢设备部件的材料出气很少,且没有较大漏孔;检漏装置本身的参数调整到最佳工作状态等。

2、动态检漏。

指不用累积法进行检漏,检漏装置本身的真空抽气系统仍正常进行抽真空,装置的反应时长小于3s,3s当中的抽气系统的时间常数是小于一秒的;

3、最小可检。

指其信号是本底噪声的两倍;

4、漏孔的漏率。

指干燥空气(100kPa的压力)经漏孔通向真空端(远远低于100kPa的压力)的漏率。

对氦分压变化有反应的氦质谱检漏仪,为表征这种反应特性,最好给出检漏装置的最小可检浓度,即浓度灵敏度。所谓检漏装置的“浓度灵敏度”,指处在工作压力下(工作压力一般为10⁻²Pa~10⁻³Pa)的质谱室,使用该装置可检示的大气中的最小氦浓度的变化。而必赢设备的氦质谱检漏仪中的“最小可检浓度”则为信号与装置噪声比为一或二时,当中氦的浓度。

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