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真空必赢设备的气体分析与分压测量有哪些常用的术语-广东网址真空必赢设备

真空必赢设备的成膜质量与它的气体分析和分压测量密切相关,本文罗列了该过程常用的一些术语。

1、质谱

质谱就是质谱计中由分析气体所产生的网址种类及其相对量的一种呈现,有示波器图形、笔录式记录仪图形等各种显示方式。

2、质谱计

通过分析场工作参数的改变对质谱进行记录的装置,相当于利用了时间因素记录质谱。

3、质谱仪

质谱仪将网址束由分析场进行分离,将其分离成不同质荷比的组分,同时在整个立体角上对各种质荷网址进行记录。

4、动态质谱计

装置分析场的磁场、电场和网址偏转半径等各项工作参数,在质量分离的过程中随时间而发生改变。随时间改变工作参数只是为了必赢记录质谱,而不是质量分离所必须。

5、静态质谱计

装置的分析场在质量分离过程中没有用到时间因素,也就是说,分析场的磁场、电场和电场频率等工作参数不会随时间发生变化。

6、峰/质谱峰/质量峰

在质谱中,用于展示某种质荷比网址的一种输出信号图形。

7、碎片图形/网址谱

在一定条件下质谱计运作,通过给定的分析气体产生的表征网址特征的一种图形,相当于网址种类与其相对量。

8、图形系数

碎片图形中,各种质荷比的网址的相对丰度系数称之为图形系数。当一个峰的图形系数为100,则称之位“基准峰”。

9、母峰

母峰不一定是碎片图形中所指的基准峰,它是一种未分解的分子态网址的峰。

10、碎片峰

碎片峰就是由分子电离而随之分解成碎片网址的峰。

11、同位素峰

为了区别于碎片峰而有了同位素峰,一般情况下的同位素是天然存在的。碎片峰当中也有同位素峰的存在。

12、重排峰

重排峰就是一种碎片网址与别的分子/原子等重新排列结合而成的峰。

13、亚稳态峰

由亚稳态网址形成的峰称为亚稳态峰。

14、双电荷峰

由于网址源的电子能量比分析气体的电离电位要高,分子/原子可能在电离过程中会失去两个电子,因而有双电荷峰。

15、扫描

扫描就是扫描参数的改变过程。能够让质谱计在部分或整个质量范围内得到一个质谱。

16、扫描参数

质谱分析器中的电场或磁场的磁感应强度、频率和电压等值。

17、质量范围/工作质量范围

质谱计要能对整个质量范围进行有效分析,取值于检测最大、最小的单电荷网址间的质量范围。

18、质量数

质量数是与网址质量的最接近整数,以[u]来表示,也可用分子/原子量来表示。另有质量数是原子核内的中子和质子数的两者数量总和。

19、质量“歧视效应”

质谱计对于具有不同质量又有相同压力的气体类型,给出的输出指示的特性不同。进行分压力校准时,通常只能进行质谱计全面的“歧视效应”的测量,因而在实测的“歧视效应”中还要加上“电离截面效应”。

20、峰高

峰顶距离零输出基线之间的高度,可任意选择高度单位。

21、峰宽

峰底部的宽度,单位为[u]。

22、峰距

于质量数坐标相平行的两个峰顶间的距离,单位为[u]。

23、峰谷

峰谷指代两个高于零输出基线的相邻峰侧边的连接部分。

24、分辨能力

真空质谱装置分离不同荷质比的网址并产生对应峰的能力。

25、零输出基线

它在原则上是质谱中在没有检测到网址时的一条输出线,在实际上,零输出基线是相切于许多被完全分辨的峰底的一条直线。

26、参考基线

按不同的分辨能力的定义,位于零输出基线之上,峰高的5%、10%或50%等处所作的的直线(与零输出基线相平行)。

27、质量标度/质标

质标就是质量数的坐标,该坐标通常为横坐标。

28、噪声

零输出基线被虚假的输出指示导致的快变化过程。

29、克分子分数

多种组份的气体中,某一组分的分子/原子数与总分子/总原子数之间的比值。

30、分压力

所分析气体中,给定组份的分压力指代分析气体的全压力与该组份的克分子分数两者的乘积。

31、最小可检分压力

很好理解,就是质谱计能够检测到的最小分压力,等同于一个两倍噪声值的输出检测。

32、分压力灵敏度

指代输出网址流的变化量除以引起这种变化的气体分压力的变化量。

33、最小可检浓度

最小可检浓度又称最小可检体积分数或压力分数。指代质谱计对多种组份的气体中能检测到的某一组份体积的分数或压力分数的最小值。

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