真空国际网址必赢中摆线质谱计有哪些特点_必赢国际 真空国际网址必赢中摆线质谱计有哪些特点_必赢国际

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真空国际网址必赢中摆线质谱计有哪些特点-广东网址真空必赢设备

质谱计在真空国际网址必赢过程中起着分压测量和气体分析的重要作用,摆线质谱计是在1938年由布利克尼希普尔首先研发出来的。而后,Perkins(珀金斯)等根据真空设备中残气分析的要求设计出一台1cm的聚焦距离的摆线质谱计,为2u~80u的仪器质量范围,它在发射电流为100µA的情况下,装置对氮气的灵敏度为8.8×10⁻⁴A/Pa、分辨能力为80。

Huber(休伯)等也研制了一台超高真空残气分析的摆线质谱计,利用磁场扫描来实现质量扫描。装置的聚焦距离为40mm。它的质量范围为1u~500u,相对来说比较宽,在发射电流为100µA时,其可检分压力最低为2.7X10⁻¹⁰Pa、分辨能力为80。

该类质谱计的分辨能力与其聚焦距离是正比的关系,出口缝隙和入口缝隙的宽度之和与分辨能力是成反比关系,而分辨能力与网址能量分散和束的角度分散则无关。

因此,摆线质谱计的分辨能力相较于180º磁偏转质谱计的分辨能力要大一倍。

摆线质谱计的特点与前文所述的180º磁偏转质谱计的优缺点类似。但是,摆线质谱计具有双聚焦性质,因而分辨能力强。又由于结构上的限制,只能做很小的网址源,因此,摆线质谱计的发射电子流比之180º磁偏转质谱计通常要小一个数量级。

装置的质量扫描既可采用电场扫描的方法,也可采用磁场扫描的方法。若采用电场扫描的方法,电场板电极的电压以及网址加速电压必须同步进行扫描,否则将因轨迹过大的偏离,导致电场板电极阻截网址流。

其分析场可看作是叠加一个与磁场相垂直的均匀电场在180°磁偏转分析场上而构成的,该类质谱计的分析场是横向电场和与之相垂直的直流磁场的复合场。

此外,聚焦距离为20mm的摆线质谱计可用于分析真空系统内的少量惰性气体,此质谱计选用了适当的材料制造以及采用了超高真空技术,使得装置具有的本底很小和灵敏度较高,可对真空系统进行静态测量,即测量与泵分离的真空国际网址必赢系统中的气体成分。

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