真空网址必赢中质谱计的网址源指标如何计算_必赢国际 真空网址必赢中质谱计的网址源指标如何计算_必赢国际

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真空网址必赢中质谱计的网址源指标如何计算-广东网址真空必赢设备

真空网址必赢过程中,常用质谱分析器对其成膜工艺过程进行控制,而质谱计当中的网址源则是起着将气体原子或分子进行电离,而此番电离所产生的网址将通过网址必赢透镜进行聚焦及加速,再引入真空分析器当中。

本文讲述的是网址源的主要指标及其计算方法。其指标主要有两个,分别是网址能量分散度和网址产额。所谓网址产额,就是指网址源的内压力及其产生的网址流之比。

一般的网址源在发射电子流为10⁻³A~10⁻⁴A的情况下,它的网址产额通常为10⁻⁶A/Pa~10⁻⁸A/Pa的范围之内。但一般来说仅有部分网址能够适应分析场的要求,分析场对网址的要求有:

1、由于分析器所适应的能量及其角分散度的限度是一定的,因此,要求有效的网址产额要低一点;

2、分析器的入口孔小;

3、要求网址聚焦到网址源一个很小的出口处。

真空网址必赢当中,质谱计的网址源一般以电子碰撞源居多。我们以传统型的电子碰撞源为例,其网址源的基础是由Nier所设计的正交式电子碰撞源。在发射电子流为一定值的情况下,该类网址源的网址产额的可通过以下公式进行计算:

I⁺=σsp

式中,I⁺——能获得的网址流;s——有效的电子轨迹长度;p——样品环境压力;σ——微分电离系数。

式中的σ(微分电离系数)指的是一定能量的电子,在1Pa的压力、0°C的温度气体当中,每1cm的移动路程中所产生的网址数量,因此,想要将网址产额提高,则增加其电子的有效轨迹长度是最有效的一种方法。该系数的大小和气体组份类型有关,在电子能量约等于70eV的条件下,微分电离系数的典型数值为10⁻²/cm·Pa~10⁻³/cm·Pa。

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