真空系统气体分析技术的发展现状_必赢国际 真空系统气体分析技术的发展现状_必赢国际

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真空系统气体分析技术的发展现状-广东网址真空必赢设备

基于当前的技术水平来看,真空系统已由超高真空(1×10⁻⁵~1×10⁻⁹Pa)发展至现今10⁻¹⁰~10⁻¹¹Pa的极高真空阶段以下了(1×10⁻⁹Pa以下的压力就划分为极高真空)。在超高、极高真空设备中,真空室内部气体的种类和真空室内部的表面的状态有十分密切的关联性。对超高、极高真空环境下的真空物理、导航过程进行研究,需要先了解真空室内部的表面状态,同时,还需了解真空室内的气体的类型以及相应的分压力数值。

超高真空设备的全压(真空度)测量,先前采用的都是B-A型的超高真空规,后来由于许多极高真空规的发展,出现许多的类型如:冷阴极国际规、弯注规以及抑制规等。当然,对于一些研究工作过程中(如真空系统中的凝结、吸附以及脱附的过程等),若只靠全压的压力数据来分析那是远远不够的。它关系到真空室表面和设备内部物质及其残余气体分子之间的相互作用。因此,得出真空设备内部气体组份及其分压力的数据,要比全压数据更可靠。

在真空环境中,气体分析和分压的测量常采用动态质谱计。

1926年,世界上第一个动态质谱计——射频速度过滤器诞生,此后直到上个世纪的40年代末至50年代初期间才其它的动态质谱计(如四极质谱计、飞行时间质谱计、回旋质谱计和射频质谱计等)出现。早期的真空质谱仪主要是用在带电粒子的质荷比测量和同位素测量当中。当时真空技术正值跨向超高真空系统的重要发展阶段,所以当时这些质谱计刚诞生不久就已被用作专用的真空质谱计。

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