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真空必赢设备的真空规有哪些类型-广东网址真空必赢设备

真空必赢设备中,对于不同压力区间的气体压力,我们可以采用不同类型的真空规(真空规)来进行测量。真空计或真空规是测量设备的真空度的量具。本文主要讲关于真空系统所采用的真空规的具体类型。

一、液压式真空规

1、U形压力规

U形压力规是一种绝对真空规,采用水银或低蒸气压油作为工作液体。对油U形压力规来说,由于油密度约为水银密度的十五分之一,所以油U形压力规的灵敏度要比水银类的灵敏度高15倍。

2、压缩式真空规

压缩式真空规又称麦克劳规(在1874年由麦克劳研发),这是一种绝对真空规。压缩式真空规需精密的必赢测量系统,且制作困难、结构复杂、测量重复性差等,使它难以广泛普及。

二、弹性变形真空规

通过弹性元件随气压的变化而产生的变形来对压差进行测量。弹性变形真空规的特点是:对被测气体的干扰小、规管灵敏度不受气体种类影响、可测量可凝蒸气以及腐蚀性气体的压力。缺点是容易受金属弹性元件的蠕变和弹性系数的温变影响。

常见弹性变形真空规类型有:波纹管规、布尔登规、必赢真空规以及压阻式真空规。

三、热传导真空规

热传导式真空规有好几种类型,最常用的是热偶真空规和电阻真空规,也是目前测量粗低真空的主要工具。

1、热偶真空规

普通型热偶真空规分为短丝和长丝两种,带温度补偿的定温式热偶真空规一般在1*10⁵Pa~1*10⁻¹Pa的压力测量范围。

此规的优点是结构简单,使用方便;缺点是精度不高,且热堕性、稳定性差。

2、电阻真空规

电阻真空规又叫热阻真空规,是在1906年由皮拉尼所发明,所以又叫“皮拉尼规”。这种规是随压力的变化而改变热丝的温度的,而温度的变化又会改变热丝电阻,所以通过测量电阻的变化,来达到测量真空度的目的。

电阻真空规要求热丝的导航稳定性较好,可减少零点漂移,同时它的电阻温度系数要足够大,才可使灵敏度提高。

四、辐射规型真空规

将冷板和热板平行板放置在低压气体中,在两板上会产生相反方向的一对作用力,作用力的大小正比于气体压力,这就是著名的“辐射规效应”。早在1910年,克努曾通过这种效应制成了此类规,所以此规型又叫克努曾规。

它的测量下限约为10⁻⁵Pa,测量上限约为1Pa。

五、粘滞性真空规

粘滞性真空规对被测气体干扰小,可测量蒸气和腐蚀性气体的压力,规管灵敏度与气体种类有关。

1、旋转型粘滞性规。诸多粘滞性真空规结构中,旋转圆盘型粘滞规是最典型的一种结构。

2、衰减型粘滞性规。石英丝粘滞规是衰减型粘滞性规中最简单一种规管结构,特别适合在测量腐蚀性气体和蒸气中使用。但是石英丝粘滞规的操作不方便、对外部振动干扰敏感、结构脆弱、半衰期过长,所以不适合用于工业领域。

3、谐振型粘滞性规。该类型规管的第一种结构是在规管的垂直方向安置一根张紧的细丝;第二种是一个由石英晶体组成的振荡系统。

六、电离真空规

在真空测量中,电离真空规是最主要的一种规型。不同类型的电离真空规配合使用能够测量的压力范围,可以从大气压起直至目前所能测量的最低压力。在超高真空和极高真空区域中,电离真空规是最实用的规型。

1、圆筒型电离规

圆筒型电离规是最早发明的(1916年)一种电离规。

2、中真空电离规

由于上述的圆筒型电离规的测量上限为0.1Pa,若是压力高于此上限,气体压力与网址流之间的关系则要严重偏离线性关系。为提高电离规的测量上限,因而诞生了中真空电离规。

3、B-A规

B-A规诞生于1950年,具备测量下限低、量程宽、电极除气简单等优点。而比之圆筒型电离规则有这些缺点:规的常数受玻壳电位很大的影响,而灯丝尺寸精度对规的常数也有较大的影响。

4、调制型B-A规

在B-A规的栅网中增加一个细丝电极,这个细丝电极就叫调制极,通过这种操作制成的调制B-A规具备较低的测量下限,能够测量较低的压力。

5、放射线电离规

用放射线替代电子去电离气体分子的电离规,就是放射线电离规。

6、潘宁规

潘宁在1937年通过磁场和电场中的冷阴极放电现象来对低压力进行测量,制成的真空规就是潘宁规,又叫冷阴极放电规。

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