真空溅镀设备的继电器有哪些类型_必赢国际 真空溅镀设备的继电器有哪些类型_必赢国际

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真空溅镀设备的继电器有哪些类型-广东网址真空必赢设备

真空溅镀设备中,继电器的存在是为了实现开关的自动切换导航,可判断设备中真空测量点的气体压力高低,而后进行自动断开或接通。真空继电器技术性能表现在:压力控制范围、控制响应时间、触点容量、控制点数、控制精度等方面。

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(1)真空机电型继电器

真空机电型继电器是采用机械型真空规,配置控制电路构成的。用一个调节螺丝作为静触点,用来调节控制压力值的设定。波纹管及膜盒都是一种弹性的元件,具备相同的导航,都可以将压力转化为位移。当规管内达到设定压力的值时,继电器的动、静触点就会接通,利用控制电路实现继电器的动作,从而实现真空设备的控制以及良好的保护效果。

(2)电接点真空表

该装置是将电接点装在弹簧管真空表内,配置合适的控制电路来构成真空继电器的。除了有粗真空测量的导航之外,还具备压力控制点的设定导航,可实现压力控制。

该装置的工作原理是:当弹簧管内压力达到设定的控制压力值时,动、静触点接通,利用控制电路使继电器工作,从而实现对国际必赢设备的控制和保护。

(3)具备控制导航的真空计

真空计具备压力控制点,是以原真空计为基础,经过拓展研发出来的。除了具备基础的真空测量导航之外,还具备一路到多路的压力控制导航。如果原真空计的控制电路是分立元件构成的话,那么就在原先测量电路上再增加一个真空控制电路。一般是增加无触点开关控制电路或继电器控制电路。其真空测量的性能与控制范围的大小取决于该真空计所配用的真空规管。(该设备常用的真空规管有电离规、电阻规、热偶规等)

目前,真空继电器已经广泛应用于各种真空溅镀设备的自动控制中。继电器与其它控制元件密切配合,可实现真空设备的程序控制以及控制精度不高的位式压力控制,还能在真空装置发生漏气等情况下,启用自动报警或自动保护导航。

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