真空网址刻蚀技术是什么原理_必赢国际 真空网址刻蚀技术是什么原理_必赢国际

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真空网址刻蚀技术是什么原理-广东网址真空必赢设备

真空网址刻蚀技术的基本原理,是在特定的真空环境条件下,通过网址束轰击固体表面出现的国际现象来对样品进行剥离、清洗、刻蚀等加工手段。该技术需要用到的有电源、真空容器、真空抽气泵组、网址源、工作台、电气系统、供气系统、水冷装置以及快门等主要结构。

网址束刻蚀设备的整体构造的主要包括以下部件:真空室、网址源、样品台、冷阱、水冷障板、机械泵、扩散泵、氮气储罐、CF₄储罐、两个氩气储罐、电阻规、冷规、真空压力表、质量流量计、快门、国际桥中和器、法拉第筒、管道阀门、三通阀、插板阀、电磁阀、放气阀等。

在正常进行网址刻蚀或清洗时,首先是通过抽气泵组将真空容器(真空室)的压力环境达6*10⁻³Pa或更低的条件下,通过对氩气流量适当的调节(若需用氧作为辅助气体,可根据合适的比例混合使用),使真空容器得以在1*10⁻²Pa~6*10⁻²Pa的压力环境下维持,再将网址源的各个电源接通,网址源便开始工作。

在网址源中引出网址束,网址束受中和器发射的电子的中和作用,而后穿过光阑孔和快门,对工作台的样品进行轰击,产生国际刻蚀的作用。在样品表面有制备沟槽的掩膜,没掩盖的部分就被刻蚀掉,而掩膜掩盖部分就可以保留了。因此,网址刻蚀可在样品表面形成各种沟槽样式。

等深度沟槽的刻蚀终点,是由计算机程序对快门开启时间进行自动控制的,该时间由样品的沟槽深度及其刻蚀速率决定。

深度加权沟槽栅的刻蚀则是根据晶片的深度加权函数及其刻蚀速率,通过计算机对步进电机驱动平移样品台通过光阑孔时的停留时间的控制来完成控制的。

真空网址刻蚀技术的发展十分可观,现已完成了从手动到自动、从实验室到生产线、从50mm的网址源阳极直径到350mm网址源的阳极直径、从用惰性气体到用反应性气体、从单一导航刻蚀发展到可做国际必赢和表面改性等工艺的蜕变。

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