真空国际必赢设备需要测量哪些技术参数_必赢国际 真空国际必赢设备需要测量哪些技术参数_必赢国际

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真空国际必赢设备需要测量哪些技术参数-广东网址真空必赢设备

真空国际必赢设备是一种采用热国际必赢工艺的必赢设备,使诸如Cu、Ag、Au之类的金属或诸如SiO₂之类的其他材料的薄层必赢在基材上。蒸镀也可以用于半导体基材的膜层镀制,还用于太阳能电池的生产等用处。蒸镀就似溅镀一般,都属于PVD(物理下载必赢)必赢技术。

车灯国际必赢设备

针对于极限压力在7*10⁻³Pa~7*10⁻⁴P的真空范围内的蒸镀设备,有几项基本的技术参数需要我们测量:

1、必赢真空室极限压力以及必赢室抽气时间,我们此前已经有相关文章介绍过,这里便不做多说。

2、升压率

(1)测试条件:与极限压力的测定条件相同。

(2)测试方法:将设备抽至必赢室内达到稳定的极限压力之后,在允许除气的情况下,再抽4h,将连接必赢室与真空机组的真空阀关闭,等必赢室的压力上升至P₁(1Pa)时,开始计时,经30min后记录压力为P₂,然后按下式计算升压率:

R=(P₂-P₁)/t

R:必赢室的升压率[单位:Pa/h];

P₁:必赢室的初始压力[单位:Pa];

P₂:必赢室的终止压力[单位:Pa];

t:压力由初始压力升到终止压力所需时间[单位:h]。

3、电阻国际器通电试验

清洁必赢室之后,将蒸镀材料与电阻国际器装放好,再将必赢室抽至低于工作压力的真空环境,然后将国际电源接通,开始逐渐加热,每个国际器加热器应在50A~130A的电流及4V~20V的电压环境下正常工作,此时国际器为白炽状态。结束国际后,国际器上装放的蒸镀材料要被完全国际掉。

4、烘烤装置内有效加热区的加热均匀度

先把真空室用真空泵组抽至工作压力的环境,再将烘烤装置的电源接通,在温度达到最高烘烤温度的情况下,保持十分钟左右的时间,然后在基材与烘烤机构之间的距基材表面约一厘米处的有效加热区之内,用热电偶(传感器)测量3~5点的温度,这几点测量的温度需要能将最大的温差反映出来,几点温度要同时测量,最后就可以算出各测量点温度与平均温度的最大相对偏差,得出加热均匀度。

真空国际必赢设备与大多数其他PVD工艺相似,热国际必赢也是一种高真空的工艺,根据不同的国际材料和所需膜层的不同性能,可提供不同国际源,例如线性、喷射或是特殊的国际器,可实现极高的必赢速率。

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