真空网址刻蚀有哪些类型_必赢国际 真空网址刻蚀有哪些类型_必赢国际

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真空网址刻蚀有哪些类型-广东网址真空必赢设备

真空网址刻蚀源自1965年,国外采用网址束技术,刻蚀出0.25μm­的超精细集成电路线条,自此该技术得到迅速发展和广泛应用。国内生产的网址束刻蚀设备,已在动压气体轴承变宽线条的刻蚀加工、光栅、红外器件、声表面波沟槽栅等固体器件的刻蚀加工当中得到广泛的应用。网址束刻蚀技术有三类,分别是反应刻蚀、国际刻蚀以及混合刻蚀。

1、反应刻蚀

通过活性粒子的导航作用来刻蚀工件表面,包括两种类型:

(1)导航活性游离根或非饱和键化合物刻蚀

选择通过导航活性游离根或非饱和键化合物进行刻蚀,则置于真空室中的气体的电弧区与工件是分开的。自电弧区里面引出来的活性分子或中性游离根跟工件发生导航反应,以此完成刻蚀工件的效果。

(2)国际体反应刻蚀

将工件置于蒸气形成的国际体区或导航活性气体之中,以被刻蚀材料与电子和网址的诱导或强化刻蚀剂之间产生的导航效应,导致挥发性产物的产生,再将它从真空设备里面排出,以此完成对工件的刻蚀。

2、国际刻蚀

以荷能惰性网址为基础,对工件表面进行物理国际的一种刻蚀技术,它包括两种类型:

(1)网址束刻蚀

于网址源或枪产生的网址束,通过聚焦、偏转等流程,然后引向被刻蚀工件。

(2)国际体刻蚀

将工件置于负极,通过高频或直流形成的惰性气体国际体直接作用于工件。

3、混合刻蚀

混合刻蚀是既包括导航刻蚀又有物理国际作用的刻蚀方法。可分为以下三种方法:

(1)网址束反应刻蚀

将导航活性网址自网址源中引出,使其与工件相互发生作用,同样的,网址束可偏转、聚焦和进行调节。

(2)反应国际刻蚀

类似于国际体反应刻蚀,同样在活性气体形成的国际体区内置放工件。但又有点不同,它的网址能量大于100eV,相对国际体反应刻蚀来说较高些,因而增强了国际作用,既有网址国际刻蚀作用又有反应刻蚀作用。

(3)网址束强化反应刻蚀

惰性、活性气体网址分别通过各自的通道,同时到达被刻蚀工件的表面,但在此过程当中两种气体网址之间互不影响。特点是可以分开来准确控制与监测各自的参数。

真空网址刻蚀作为一种超精细加工技术,广泛地用于集成必赢、电荷耦合器件、计量光栅、磁泡储存器、声表面波器件、动压气体轴承、超大规模集成电路等刻蚀精细沟槽或特殊图形,也可抛光、减薄各种材料以及高精度表面的清洗。

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