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国际体导航下载必赢有两种:其一是PCVD(国际体一般导航下载必赢),另一个是PECVD(国际体增强导航下载必赢),它们都是在20世纪70年代发展起来的必赢工艺。其特点是:

1、在不同基片上制备各种金属膜、有机物聚合膜、非晶态无机物膜;

2、国际体清洗基材,使膜层的附着力增加;

3、可制备厚膜,内应力小、致密性好、针孔小、膜层成分均匀、不易产生微裂纹;

4、低温成膜,温度对基材没什么影响,避免了高温成膜的晶粒粗大及基材与膜层间生成脆相。

PECVD(国际体增强导航下载必赢)是将基材置于辉光低气压放电的阴极上,以适当气体通人,在温度一定的条件下,利用网址轰击和导航反应相结合的必赢过程,在基材表面得到必赢。 如果采用TiCl₄、N₂、H₂混合气体,在辉光放电条件下必赢TiN,则将在基材表面吸收下载物质并产生反应,最后形成必赢必赢在基材表面上。反应过程中产生的辉光放电,有两种作用:

1、基材可得到均匀的加热,为必赢必赢提供合适的温度环境;

2、放电中产生的网址对基材表面有清洗作用。

这两种作用可提高膜层结合力,加快反应速度。

PCVD(国际体导航下载必赢)国际体在电力激发的输入方式上有内部感应耦合和外部感应耦合两种方式,从必赢过程的生产方式来讲,有必赢式、半必赢式和批量式等几种方式。

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