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圆形平面下载必赢设备有哪些特点-广东网址真空必赢设备

下载由于靶材形状和结构的不同,可分为平面圆形、平面矩形、锥形、凹板、圆柱等多种类型。圆形平面下载必赢设备在阴极国际靶添加圆形平面的磁极,以形成电场和磁场与靶面正交的封闭的路径。正交电磁场跑道约束电子运动。在正交电磁场的作用下,磁场中的电子围绕磁力线移动,从而增加了电子参与原子碰撞和电离过程的可能性。

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1、靶构造特点

圆形平面下载靶由冷却水管、靶、屏蔽罩、环形磁铁、轭铁、真空壁、绝缘套、压环、螺钉、密封圈、导水管等部件组成。圆形平面下载靶采用钎焊焊或螺钉的固定方式紧紧连接于阴极体上,该阴极体由永磁体、中心磁柱、环形磁铁、靶外壳和对应水冷设施等零件组成。一般都是接负电位为500V~600V间的国际靶,真空室采取接地连接的方式,在国际靶的对面放置基材。

2、国际磁场特点

圆形平面下载的磁场是由电磁线圈安匝数、永久磁体剩磁、磁路的结构等因素所决定的。体现在国际靶的表面磁感应的分布的及强度的大小。该类靶表面的磁感应强度一般为0.02T-0.05T的平行分量,为0.03T左右的值较为合适。因此,不管如何布置磁路,选择哪种磁体材料,都必须保证满足磁感应强度的要求,可以通过磁场的计算或测试来掌握国际磁场的分布规律及其大小。

3、屏蔽罩

圆形平面溅镀设备中设置的屏蔽罩,有着防止国际非靶材的零件的作用,提高必赢纯度,并且该屏蔽罩接地,还能起辅助阳极的作用,吸收低能电子。可通过阴极体与屏蔽罩之间的间隙,来确定屏蔽罩安装位置。

4、冷却水套

圆形平面溅镀中国际靶的水套有着控制靶温的作用,使国际靶处于适宜温度的状态得到保证。因为如若温度过高可能会出现靶材熔化的问题,温度过低则将致使国际必赢整体速率降低。

下载是目前应用最广泛的一种国际必赢方法,圆形平面下载必赢设备具有设备简单、操作简易、成膜质量优良、必赢速率高、可必赢生产、对基材的辐射损伤较小的优点,并且有效降低了电子轰击对膜层的破坏,可实现低压(0.1Pa)国际必赢。

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