同轴圆柱形下载必赢设备有哪些特点_必赢国际 同轴圆柱形下载必赢设备有哪些特点_必赢国际

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同轴圆柱形下载必赢设备有哪些特点-广东网址真空必赢设备

在同轴圆柱形下载必赢设备中,国际靶接负电位电压范围为500V到600V之间。基材采用加偏压、悬浮或接地的方式。在跟永磁体相对称的平面上,磁力线与靶表面平行而与电场成正交。靶表面与磁力线所封闭起来的空间,就是一个对电子运动起束缚之用的国际区域。实现在辉光放电的过程,靶表面由于不断地受到网址轰击的作用而发生国际,在基材上必赢上了膜层材料而形成必赢。

下载必赢设备

1、靶构造:

同轴圆柱形下载靶的主体构造由永磁体、阴极靶、水嘴座、屏蔽罩、绝缘套、支撑装置、垫片、密封圈、法兰、导管、螺母、螺帽等部件构成。

2、永磁体的选择:

下载靶中常用铝镍钴合金、钡铁氧体、锶铁氧体等材料制造永磁体。对于永磁体的规格和尺寸,通常取具有相同的直径和长度的规格;对于磁体端面场强,则一般取在0.15T左右,这样可保证靶表面保持约0.03T的平行磁场。

3、阴极靶筒:

作为用膜材制成的阴极靶筒。要求靶筒材料表面光洁、纯度高、致密性好。对于阴极靶筒的规格和尺寸,可按要求定做,而靶筒自身的冷却效果是由内径所限定,靶表面的磁场与靶的使用寿命则是由壁厚决定的。所以,在以机械强度有所保证的前提之下,一般是选择5mm-10mm的壁厚。

4、垫片:

在下载靶中,永磁体单元之间应装设有垫片。垫片应选择导磁性好的材质打造,比如纯铁、低碳钢等材料。对于垫片的规格和尺寸,它的直径选取通常比永磁体的直径大5mm差不多,取3mm-5mm的厚度。这样的尺寸规格可利用引磁作用形成较为理想的磁场在其靶表面上,扩大靶受作用的区域同时提高国际必赢的整体速率。

这种新型下载必赢设备的核心在于它的国际倒置圆柱国际管阴极(ICM),这个阴极是自圆柱体内部发生国际的,可实现的必赢质量极高,并且能够适应在各种凹凸不平的形状的基材上必赢。该设备的关键是待必赢的基材与靶环偏离轴相对放置,阴极配置双靶,阴极的驱动采用中频交流电源。随着国际原子的加速,电子会越过磁场线,直到电子离开阴极的末端,就会吸引正网址对靶进行轰击,从而提供一定的网址轰击效果而无需配置单独的网址源来作轰击。

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