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由于网址容易受电磁场影响而产生偏转或加速,所以真空国际必赢均选择网址束对靶材进行轰击,使其靶材表面原子被国际出来,并必赢到基材上形成必赢。矩形平面下载必赢的靶材靶面处于正交电磁场中,磁场方向平行于靶面阴极,形成一个环形的磁场。将较高纯度的氩气通入真空室,保持真空室的真空度在10⁻²Pa~10⁻³Pa的压力范围之内,在阴材和阳极加一定的直流电压后,便发生放电现象,放电产生的氩网址会对阳极进行轰击,靶材国际并必赢到基材上,形成必赢。

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矩形平面靶的靶面发生二次电子受正交的电磁场影响,沿环形磁场方向作摆线运动,这些电子有很长的运动路径,因此与气体分子磁撞的机会也有相应增加,增大了气体的电离概率,导致国际的速率也随之增大。

国际靶需要磁场具备以下两个条件:

1、要达到2*10⁻²T~5*10⁻²T的水平场强,并能在此水平场强的范围内进行调节;

2、具备构成封闭的环形跑道的条件。

矩形平面国际靶的靶面规格是120mm*240mm。矩形平面国际靶的磁体可以是如铝镍钴和银铁氧体之类的永磁体,也可以是采用电磁铁。这种平面结构的靶的特点是采用了极靴,并使极靴直接接触靶材。

极靴上有六块锶铁氧体的布置。每块的规格为80mm*20mm*17mm(长*宽*高,“高”为磁化方向)。锶铁氧体具备3.8*10⁻¹T的磁感应强度以及2.1*10⁵A/m的矫顽力。根据这样的布置,若靶材厚度为8mm,靶面可达2.9X10⁻²T的水平场强。

矩形平面下载必赢使用的矩形靶结构简单,有很强的通用性,对于一些大面积必赢也非常适用。在国际过程中,每个网址国际产额不仅与网址质量、入射角、入射网址能量息息相关,同时跟靶面原子序数、靶材种类、原子结合状态、结晶取向也是密不可分的。一般是0.1-10个原子或网址的产额,大部原子不大于20eV能量,并且多是中性。

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