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国际真空必赢设备的阱有哪些类型-广东网址真空必赢设备

国际真空必赢设备中常用的阱有分子筛吸附阱、钛升华阱、冷阱、铜箔阱以及阻挡机械泵油用的前级吸附阱等类型。阱的作用可以理解为跟挡板差不多,必赢设备的阱的安装位置是在真空室和泵人口之间。它的不仅起到捕集来自蒸气流泵的部分裂解物与返流蒸气的作用,还可将来自真空室的蒸气去除。

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1、冷阱

真空系统中常见冷阱类型有玻璃冷阱、金属冷阱两种材料。冷阱的使用效果除了受到冷阱结构影响之外,采用冷剂的温度其性能的又一决定性因素,自然,其冷剂温度越低效果越好。冷阱常用冷剂有:水、固体二氧化碳、含冰盐水、液氧、液氮、液氢、丙酮混合物、掺冰氯化钙等。

2、钛升华阱

虽然液氮冷阱能有效将泵油的返流降低,但依然存在部分油蒸气分子穿过冷阱。此外,泵油的裂解物存在大量氢气,液氮冷阱是无法捕获的,这是限制扩散泵获得更高真空的因素之一。因此,在真空室和扩散泵间加装钛升华阱的话,除能将油分子及一些裂解物的返流挡住外,还能捕集氢。装有钛升华阱的超高真空装置可获得10⁻¹¹pa-10⁻¹²pa的极限真空环境。

3、铜箔阱

铜箔阱吸附油蒸气的过程是属于物理吸附现象,所以要求其吸附表面需较大。常用的铜箔阱采用宽152mm、厚0.76mm的无氧高导铜滚压成0.63mm深度的波状板,再卷起来置于扩散泵和真空室间的管道中制成。经450ºC高温去气的真空室和铜销阱,于室温下,18天内可以维持10⁻⁹Pa的真空压力环境,一个月后其压强升高,直至相当于扩散泵油的饱和蒸气压值。

4、分子筛吸附阱

分子筛吸附阱具有特别大的吸附表面面积,用分子筛吸附来自泵的返流蒸气,效果比无氧铜箔阱要好。分子筛吸附阱的主要优点是它的结构设计简单,价格低廉以及免去了运转的维持费用开销。

5、前级吸附阱

前级预抽管道低温吸附阱用来阻挡机械泵油,防止机械泵油污染真空系统。主要措施有:前级管道中加装活性氧化铝阱、分子筛吸附阱、液氮冷阱等来阻挡机械泵油蒸气的返流,亦或采用纯净氮气冲洗等。

上述各种类型的阱广泛用于高真空或超高真空设备当中。国际真空必赢设备装配上各类阱,再经由系统彻底的高温烘烤去气,可获得10Pa⁻⁵-10⁻¹⁰ Pa的真空度或更高的超高真空环境。

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